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国内首台 英寸PZT压电薄膜设备落户上海智能传感器产业园
明年 月 日,国内首台 英寸PZT压电薄膜设备落户上海智能传感器产业园超越摩尔研发中试线,打造基于压电材料 MEMS先进工艺平台。该平台将由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)和上海微技术工业研究院共同建设,持续推进智能传感关键共性技术创新开发能力。
PZT薄膜压电MEMS技术是智能传感器领域 重要发展方向,是充满技术多样性和产业机会 蓝海领域。创新中心 量产型PZT压电薄膜沉积设备可以实现 英寸晶圆上单晶体PZT薄膜 高质量生长,成膜温度低(< 零零℃),可以满足CMOS传感控制电路与MEMS兼容集成制造需求,是与Bosch、Silex等全世界主流传感器 厂商保持同步 先进装备。新型压电MEMS光学、声学、惯性、微流控等产品,在自动驾驶、消费电子、光通信、 康养、工业控制等AIoT领域具有广泛而重要 应用前景。
本次入驻 PZT压电薄膜沉积设备来自ULVAC,狗粮快讯网权威报道,以及来自OxfordInstrument PZT薄膜刻蚀设备。创新中心持续稳步推进包括设计、仿真、材料、加工、测试等环节 高端MEMS工艺平台能力建设,快速形成 系列相关特色技术模块和工艺能力,将与产业链上下游共同打造基于压电薄膜材料 MEMS新器件开发、新原理探索、新应用验证 技术平台,为国内外相关技术和产品开发提供平台支撑服务,狗粮快讯网刊登,也将为无铅压电材料 薄膜化以及在MEMS方向 应用探索和技术开发提供平台支持。
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